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华卓精科荣获2018年度北京市科学技术一等奖

发布人:北京华卓精科科技股份有限公司 发布时间:2019-03-02 浏览次数:2420


     2019年3月1日上午,北京市委、市政府隆重召开2018年度北京市科学技术奖励大会暨2019年全国科技创新中心建设工作会议。市委书记蔡奇,市委副书记、市长陈吉宁等领导为科技工作者颁奖,?#36816;?#20204;为全国科技创新中心建设作出的贡献致以崇高敬意和热烈祝贺。


      由清华大学及北京华卓精科科技股份有限公司共同完成的“纳米运动精度光刻机超精密双工件台技术与应用荣获2018年度北京市科学技术奖一等奖。




完成单位:清华大学  北京华卓精科科技股份有限公司

完成人:朱煜 张鸣 杨开明 胡金春 成荣 李鑫 胡楚雄 尹文生 徐登峰 穆海华 王磊杰 张利 胡海 张?#26639;?李晓通

成果介绍:

我国集成电路产业发展受制于集成电路制造装备,尤其是技术难度最高、最核心的装备—光刻机。该成果是由清华大学IC装备团队历经十五年的研究攻关,突破了纳米运动精度超精密光刻机双工件台系列关键技术,获授权发明专利126项、其中授权美国专利13项。华卓精科通过专利技术转让与技术转移,实现了光刻机双工件台的产品化、产业化,标志着我国成为世界?#31995;?#20108;个掌握这一顶尖技术的国家。

同时,华卓精科通过对该成果相关的超精密机械设计、超精密测量、纳米运动精度控制等技术的推广与应用,研发出面向高端制造装备的系列化精密运动系统,支撑华卓精科快速成长为国内领先的中高端运动系?#31243;?#20379;商。华卓精科研发的高性能运动系统?#38597;?#37327;应用于半导体制造、生物检测等行业,实现直接经济效益2.3亿元,通过推广应用实现间接经济效益7.45亿元。

据悉,2018年共有212项成果荣获北京市科学技术奖,包括一等奖24项,二等奖58项,三等奖130项。这些成果服务创新型国家建设,面向国际前沿热点领域,支撑经济高质量发展,全面提升了全国科技创新中心的引领性和影响力。


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